"우리가 최초"····삼성·TSMC·인텔, 나노 기술 격전

반도체학회 VLSI에서 첨단 공정 기술 공개···3나노 이하 경쟁 '주목' 반도체 위탁생산(파운드리) 업체들의 3나노미터(nm, 1나노는 10억 분의 1m) 선단 공정 기술 개발이 점입가경이다. 성능과 전력효율을 높일 수 있는 소재 발굴, 구조 설계를 선점하겠다며 사활을 걸고 있다. 12일 업계에 따르면 인텔, 삼성전자, TSMC 등 주요 반도체 기업들은 11일부터 16일까지 일본 교토에서 개최되는 반도체학회' VLSI(Very Large Scale Integration) 심포지엄'에서 나노 공정과 관련된 기술을 공개했다. 미세공정의 핵심은 회로 선폭을 얼마나 세밀하게 좁히는가에 있다. 선폭을 의미하는 나노미터는 성인 머리카락 한 올의 10만분의 1에 불과하다. 선폭을 줄일수록 반도체 성능과 전력 효율이..

2023.06.13